于明新

▣科研项目

项目名称低锥度深小孔的感应电解辅助液导激光加工机理与方法

项目来源国家自然科学基金

项目类别青年科学基金项目（C类）

项目编号52605662

立项年份2026 年

开始时间2027 年 1 月

结束时间2029 年 12 月

承担角色主持

项目名称超高电流密度下激光-电化学加工材料去除机制及成形规律

项目来源国家重点研发计划

开始时间2022 年 12 月

结束时间2025 年 12 月

承担角色参与

项目名称兆声微粒协同作用高精度金属微器件掩膜电解加工机理与方法

项目来源国家自然科学基金

立项年份2019 年

开始时间2020 年 1 月

结束时间2022 年 12 月

承担角色参与

项目状态已结题

项目名称高精密电铸微流控芯片模芯开发

项目来源横向课题

开始时间2021 年 9 月

结束时间2022 年 12 月

承担角色参与

▣科学研究

激光电化学复合加工

设计并搭建激光电化学复合加工实验装置，研究激光诱导等离子体与射流电解加工的材料去除机制及协同作用。

兆声辅助掩膜电解加工

结合多物理场仿真和阳极界面可视化，研究气泡演化及金属微结构加工均匀性。

MEMS 与精密微器件制备

应用 UV-LIGA 和精密微电铸等工艺，开发微流控芯片模具、MEMS 惯性开关等微器件。